工业去离子水继续在蒸发器中盘旋上升，经过汽水分离装置，作为纯蒸汽从纯蒸汽出口输出，工业蒸汽在蒸发器被原料水吸收热量后凝结成工业蒸汽凝结水作为预热器的加热源，预热原料水后从预热器不凝结水排放出口排出机外，采用高温高压操作，确保稳定生产无热原注射用水，所生产的蒸馏水。冷却水开启，低于90℃时，冷却水关闭，使出水温度自动稳定

工业去离子水浓缩水排放阀可恰当关小，当蒸汽压力低于0.3MPa时为小负荷运转，到更的如各介质连续调节、与存储系统联动、分级密码控制甚至到蒸发量变化的控制，可以说细致入微，整机性能工厂测试：在整机测试车间，按照确定的程序，模拟实际工作环境，进行整机测试，蒸馏水易于操作及维修，卧式蒸馏水储罐严格遵循《生产质量管理规范》cGMP总则第三十，三十二条要求，根据GB150-98《钢制压力容器》、JB/T《钢制焊接常压器》要求进行设计。

但由于微电子技术的复杂性和影响产品质量的因素繁多，至今尚无一份由工艺试验得到的适用于某种电路生产的完整的水质标准。不过近年来电子级水标准也在不断地修订，而且高纯水分析领域的许多突破和发展，新的仪器和新分析方法的不断应用都为制水工艺的发展创造了条件。
   工业去离子水继续在蒸发器中盘旋上升，经过汽水分离装置，作为纯蒸汽从纯蒸汽出口输出，工业蒸汽在蒸发器被原料水吸收热量后凝结成工业蒸汽凝结水作为预热器的加热源，预热原料水后从预热器不凝结水排放出口排出机外，采用高温高压操作，确保稳定生产无热原注射用水，所生产的蒸馏水。

水质标准所规定的各项指标应该根据电子(微电子)元器件(或材料)的生产工艺而定(如普遍认为造成电路性能破坏的颗粒物质的尺寸为其线宽的1/5-1/10)，但由于微电子技术的复杂性和影响产品质量的因素繁多，至今尚无一份由工艺试验得到的适用于某种电路生产的完整的水质标准。